정보통신대학, 초고집적 반도체를 위한 차세대 반도체 소재·공정 기술 개발 선도

▲ 전자전기공학부 및 적층형 반데르발스 반도체 사업단 이재현 교수
우리 대학이 과학기술정보통신부 주관 「초고집적 반도체를 위한 반데르발스(vdW) 소재 및 공정 기술 개발」 사업에 최종 선정됐다. 이 사업은 세계 최고 수준을 목표로 하는 혁신도전형 프로젝트로, 우리 대학은 차세대 3차원 메모리 반도체 구현을 위한 핵심 소재 및 공정 기술 개발을 선도할 「3차원 적층형 반데르발스 반도체 사업단」을 설립·운영한다.
총 377억 원규모의 이번 연구는 2025년 6월부터 2030년 12월까지(5년 7개월)진행된다. 사업단장 겸 세부 주관 책임은 전자전기공학부 이재현 교수가 맡고, 전기전자공학부 박진홍 교수와 신소재공학부 김형섭 교수가 세부 주관 책임자로 참여한다. 또한, 정보통신대학 전종욱·이주원 교수, 반도체융합학과 오새룬터·신원준 교수, 신소재공학부 양철웅 교수, 화학공학부 채희엽 교수, 물리학과 안종렬 교수 등 교내 연구진이 힘을 모은다. 이외에도 카이스트, 서울대, 연세대, 전북대, GIST, KIST, 비아트론등 국내 최고 수준의 산·학·연 기관이 대거 참여해 연구 시너지를 높일 예정이다.
▲ 적층형 반데르발스 반도체 사업단의 주요 연구 목표
반데르발스 소재는 2010년 그래핀 발견 이후 폭발적인 연구가 이어져 왔으며, 원자층 두께에서도 우수한 전기적 특성을 보여 차세대 반도체 핵심 소재로 주목받고 있다. 그러나 상용화를 위해서는 대규모 실증과 공정 기술 확보가 필수적이다. 현재 전 세계적으로는 IMEC(유럽)과 TSMC(대만)가 상용화 기술을 주도하고 있지만, 세계 1위 반도체 산업 기반을 보유한 한국은 관련 기술 확보가 상대적으로 더딘 상황이다.
▲ 적층형 반데르발스 반도체 사업단 킥오프 미팅
이재현 사업단장은 “국내 종합 반도체 및 장비 기업, 그리고 최우수 연구진과의 긴밀한 협력을 통해 세계 최초이자 최고 수준의 반데르발스 기반 3차원 메모리 반도체 기술을 개발하겠다”며, “특히 성균관대는 세계 최고의 반데르발스 연구 역량을 보유하고 있을 뿐만 아니라, 올해 초 설립한 성균 나노펩(Nano-Fab) 센터를 적극 활용해 메모리 반도체뿐 아니라 다양한 전자 산업 분야로의 확장 가능성을 검증하겠다”고 밝혔다.