'EUV 상식 뽀개기'
-어쩌다 초보 설비 개발자의 학습법
-EUV 동영상 뽀개기
-디-프-머-랭 방법론
1. ASML EUV Operation (Y-Tube)에 보이는 것과 보이지 않는 것들을 그려보고 기계적 수치, 입자, 압력, 온도, 물질 등이 왜 그렇게 구성되었는지 살피고자 합니다.
2.Physical, Chemical, Optical, Mechanical, Thermal 특성 등이 어떻게 인과 관계를 가지고 있는지 공학적 상식 (또는 산수) 수준으로 함께 살펴보는 시간을 갖고자 합니다.
○ 프로그램명 : EUV 상식 뽀개기
○ 강의내용:
-어쩌다 초보 설비 개발자의 학습법
-EUV 동영상 뽀개기
-디-프-머-랭 방법론
○ 강사: 양원석 박사(삼성 반도체부문)
○ 일시: 11월 22일 수요일 오후 2~5시 (다과제공)
○ 교육장소: 성균관대학교 자연과학캠퍼스 제2공학관 26106호
○ 교육대상: EUV에 관심있는 학생 누구나
○ 신청방법: 챌린지스퀘어 → 비교과
○ 신청기간: ~11/21(화) 15시 까지 (포스터에 나와있는 신청기간에서 연장됨)
○ 문의: jo.yesol@skku.edu
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